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GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

  • 文件大小:未知
  • 文件类型:国家标准
  • 标准语言:简体标准
  • 授权形式:免费标准
  • 文件类型:PDF格式
  • 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
  • 更新时间:2011-04-10
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资料介绍

标  准  编  号:GB/T 4061-2009  
简体中文标题:硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 
繁體中文標題:矽多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法 
English Name:Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

标准简介:
本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。
本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒

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