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GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

  • 文件大小:409 KB
  • 文件类型:国家标准
  • 标准语言:简体标准
  • 授权形式:免费标准
  • 文件类型:PDF格式
  • 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
  • 更新时间:2010-03-02
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资料介绍

标  准  编  号:GB/T 18193-2000  
简体中文标题:真空技术 质谱检漏仪校准
繁體中文標題:真空技術 質譜檢漏儀校準  
English Name:Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration

标准简介:
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下,可以使用其他探索气体,如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。

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